微电子封装设备数据采集技术
中国电子科技集团公司第二研究所; 山西太原030024
- 微电子封装设备
- 运行数据
- 智能感知
- 数据采集
摘要：微电子封装设备是结构复杂和制造精度高的电子工艺装备,设备运行过程中产生大量数据,数据采集是设备智能化发展的基础。目前还无法获取设备用户现场的实时数据。重点论述了设备数据智能感知、传输网络设计和数据管理与应用等技术,提出了可行的微电子封装设备数据采集系统方案。采用先进的数据采集以及数据处理和挖掘技术,能大幅度提高设备采集数据的数量和质量。
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