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全自动硅片下料机碎片分析与优化设计
中国电子科技集团公司第二研究所; 山西太原030024
- 全自动硅片下料机
- 碎片分析与处理
- 结构优化
摘要：全自动硅片下料机在生产过程中,容易受到刻蚀工艺机台碎片的影响,出现堵片、流片等问题,从而降低良品率。通过分析工艺机台产生的几种碎片形态,提出了加装碎片检测装置和改造下料机翻转结构的解决方案;该方案能及时检测碎片,并通过优化后的结构处理碎片,提高了设备的稳定性。
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