浅谈多步扩散制备太阳电池PN结工艺
光伏材料与技术国家重点实验室; 英利集团有限公司; 河北保定; 071000
- 多步扩散制备法
- 太阳能pn结
- 中间层技术
- 隧穿结技术
摘要：针对太阳能电池PN结制备技术，本文分析工艺设计过程中，硅片磷浓度分布情况会给电池性能造成极大的影响。现有的太阳电池PN结制备工艺中，多步扩散制备工艺具有较强的应用优势，能够减少死层，增加电活性磷掺杂量。文中重点对多步扩散制备工艺的应用相关问题，以及硅基薄膜多结太阳能制备的其他工艺，做了简单的论述分析。
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