计量电镜中纳米位移台控制方法研究

摘要：针对计量型扫描电镜成像方法的特殊需求,提出了一种新型的纳米位移台扫描运动控制方法。利用乘法DA控制方法实现了纳米位移台驱动信号的整形输出。利用该模拟信号实现了纳米位移台的扫描范围的增益控制,扫描图像的旋转和偏移控制。该控制方法有效地的保持了纳米位移台的步进位移分辨力,克服了传统纳米位移台控制系统损失纳米步进精度的缺点。通过实验验证了此位移台控制新方法的可行性,位移台移动方式和理论吻合。