采用石英玻璃作为离子减薄制样仪离子枪高压绝缘体的应用
天津大学分析测试中心; 天津300072
- 石英玻璃
- 绝缘体
- 离子减薄仪
- 离子枪
摘要：针对离子减薄制样仪的离子枪高电压绝缘体(环)污染失效、再生变型等问题,提出了以石英玻璃环替代陶瓷环为绝缘体的方案,设计实施方法并进行实践验证.结果表明:使用高光洁度石英玻璃绝缘体显著提高了抗金属粉尘污染的能力,寿命长且经济耐用,还能经热处理清洁后再生重复使用,大大延长了更换绝缘体的时间,具有重要的应用价值.
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分析测试技术与仪器
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主管单位：中国科学院;主办单位：中国科学院兰州化学物理研究所;中国科学院计划财务局;中国科学院兰州分院分析测试中心
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