射频溅射法制备掺Ce3+荧光薄膜上转换发光研究

摘要：本文以自制掺Ce3+钇铝石榴石(YAG)荧光粉为原料经烧结得到陶瓷靶材,利用射频溅射法在石英基片上制备薄膜,氩气工作气压为3Pa,随后在氮气气氛下1100℃/3h退火处理得到Ce3+:YAG荧光薄膜。研究了在980nm红外激光照射下Ce3+掺杂YAG薄膜的上转换发光现象。实验结果表明在红外激光泵浦下,薄膜发出的荧光来自于Ce3+离子的5d-4f跃迁。荧光强度与泵浦光功率之间的线性关系表明了Ce3+:YAG薄膜的上转换发光由双光子吸收过程所主导。