调制比对MoS2-Ti/Cu-Ni-In多层膜微动磨损性能影响
广东省焊接技术研究所(广东省中乌研究院)广东省现代焊接技术重点实验室; 广东广州510650; 广东省新材料研究所; 现代材料表面工程技术国家工程实验室; 广东省现代表面工程技术重点实验室; 广东广州510650
- 调制比
- 微动磨损
- 固体润滑膜
- 微动磨痕
- 多层膜
摘要：为了改善钛合金表面的抗微动磨损性能,采用非平衡磁控溅射技术在钛合金(TC4)表面沉积了不同调制比(2∶1、1∶1、1∶2)的MoS2-Ti/Cu-Ni-In多层固体润滑膜(调制周期均为2μm)。利用扫描电镜、划痕仪、XRD、维氏显微硬度计、微动摩擦磨损试验机、3D表面轮廓仪对多层膜的形貌、结合力、物相、硬度、抗微动磨损性能、磨痕形貌进行分析测试。结果表明,所制备的MoS2-Ti/Cu-Ni-In多层膜交替结构清晰,结构致密,在12000个微动循环周期后,测得MoS2-Ti/Cu-Ni-In多层膜在调制比为工艺2∶1、1∶1时,多层膜的室温平均微动系数分别为0.071、0.065,其最终磨损总量分别为0.087mm3、0.045mm3,多层膜具有良好的抗微动磨损效果。
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