一种适用于原位纳米力学测试的AFM测头
精密测试技术及仪器国家重点实验室(天津大学); 天津300072
- 纳米力学
- 原子力显微镜
- 压电扫描器
- 光杠杆
- 电容传感器
摘要：设计并制作了一种适用于原位纳米力学测试的原子力显微镜（AFM）测头.测头由光学检测系统和Z向压电陶瓷微位移机构组成.其中光学检测系统采用光杠杆与显微镜同轴光路检测探针形变,压电位移机构内置电容传感器可实现探针进给量的闭环控制.标定实验表明该测头闭环位移分辨力优于10 nm,在标定范围内具有很好的线性.利用该测头对某型微悬臂梁法向弹性常数进行了测量,测得值与采用具有溯源性的标定方法所得结果一致.
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纳米技术与精密工程
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