首页 > 期刊 > 自然科学与工程技术 > 信息科技 > 无线电电子学 > 微细加工技术 > 基于扫描电子显微镜的集成电路显微拍摄系统 【正文】
摘要:提出使用扫描电子显微镜来获取集成电路芯片的形貌图像,以弥补光学显微镜分辨率的不足。利用拼接的方法来获得完整的芯片形貌图像。描述了压电陶瓷电机驱动工件台的工作原理。该工件台的定位误差小于20nm,可使临近图像的重叠区域保持一致。介绍了使用电子束扫描控制器对电镜扫描场进行增益、旋转和位移校正的方法,使获得的芯片图像不需旋转即可进行拼接,减少了后续图像处理软件的工作量。实验证明,该系统可以获得亚微米级芯片的清晰图像。
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