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Zernike多项式的条纹反射三维面形重建算法研究

韩路; 田爱玲; 聂凤明; 刘丙才; 刘卫国 西安工业大学光电工程学院/陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室; 西安710021; 中国兵器科学院宁波分院; 宁波310022
  • 三维面形测量
  • zernike多项式
  • 面形重建
  • 条纹反射

摘要:针对光学镜面测量中的面形重构问题,提出了一种基于Zernike正交多项式的面形重建方法。通过理论推导建立了面形重建数学模型;利用Matlab仿真模拟,分析了Zernike项数与采样点数的关系,研究了不同项数及采样点数对重建结果的影响;以双曲面为例进行了算法的有效性验证,给出了重建后面形的36项Zernike系数;最后对算法进行了噪声等级变化分析。研究结果表明:对于一个初始面形峰谷值(PV)为0.0075mm,均方根值(RMS)为0.0011mm的双曲面,选择Zernike前36项系数、采样点数为300时,拟合面形残差PV=2.6645e15mm,RMS=4.6616e16mm,拟合效果较好,且当噪声在15%以内,算法适用性较好。研究结果为后续复杂镜面条纹反射测量提供参考。

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