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硅微谐振式压力传感器闭环频率跟踪电路

许高斌; 徐枝蕃; 胡海霖; 陈兴; 马渊明 合肥工业大学电子科学与应用物理学院; 安徽省MEMS工程技术研究中心; 安徽合肥230009
  • 谐振式压力传感器
  • 频率跟踪电路
  • 锁相环
  • 无相差

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