浅述多晶硅生产用沉积载体
中国恩菲工程技术有限公司; 北京100038
- 多晶硅
- 沉积载体
- 硅芯
- 加工方式
- 生产成本
摘要：基于沉积载体硅芯的形态,介绍了圆硅芯、方硅芯和中空硅芯等3种加工方式,并从原料成本、设备折旧、能源消耗、人力成本、制造费用等关键生产要素方面对硅芯的生产成本进行估算,同时分析了硅芯的应用情况,并总结了多年来多晶硅生产实际应用的经验。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
摘要：基于沉积载体硅芯的形态,介绍了圆硅芯、方硅芯和中空硅芯等3种加工方式,并从原料成本、设备折旧、能源消耗、人力成本、制造费用等关键生产要素方面对硅芯的生产成本进行估算,同时分析了硅芯的应用情况,并总结了多年来多晶硅生产实际应用的经验。
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