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真空系统的故障诊断与排除
沈阳真空技术研究所; 辽宁沈阳110042; 中国真空学会
- 真空获得設备
- 故障诊断及排除
摘要：本文讨论了应用于真空工艺的各种真空获得技术,并提供了多年在使用和操作过程中积累的售后服务经验。当真空装置需要维修时,系统地对故障进行分析诊断和采取正确的纠正措施都是同样重要。
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