离子束抛光研究进展
桂林电子科技大学机电综合工程训练国家级实验教学示范中心; 广西桂林541004
- 离子束
- 抛光
- 材料表面处理
- 发展
摘要：介绍了一种新型材料表面处理技术——离子束抛光,阐述了离子束表面抛光的基本原理及国内外离子束抛光的发展。介绍了离子束抛光作为一种新型表面抛光方法在研究领域中的应用,并综述了近年来离子束抛光研究的发展动态,简述了国内外相关领域的主要研究成果及取得的进展,对离子束抛光技术做出了展望。
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