《微细加工技术》杂志论文格式要求：
①题名应简明、具体，能概括文章的要旨，一般不超过20个汉字。
②本刊要求所引用参考文献不得少于10篇，其中应包括一定数量的国外文献和近5年的文献。
③论著须附200～300字中英文摘要，包括目的、方法、结果、结论。
④在首页地脚处注明资助基金（名称、编号、内容）、第一作者姓名、性别、出生年、学历、职称、从事工作（或主要研究方向）。
⑤为了提高工作效率，来稿请勿寄个人。本刊因人力物力所限，来稿不退，请自留底稿。审稿周期一般为3个月。逾期未收到通知，可自行处理。
基本信息
《微细加工技术》杂志是由信息产业部主管，中国电子科技集团公司第48研究所主办的国内外公开发行的学术理论期刊，创刊于1983年，是国内电子领域具有广泛影响力的权威刊物。
该杂志国内刊号为43-1140/TN，国际刊号为1003-8213，现被知网收录(中)、维普收录(中)、万方收录(中)、EI 工程索引(美)、国家图书馆馆藏、上海图书馆馆藏等权威数据库收录。
此外，还荣获多项荣誉，如：Caj-cd规范获奖期刊、北大图书馆收录期刊等，这些都体现了该杂志在推动电子理论与实践发展方面的重要贡献。
栏目设置
《微细加工技术》杂志栏目涵盖电子领域多个维度，包括：综述、电子束技术、离子束技术、光子束技术、薄膜技术、微机械加工技术、纳米技术等。
作为一本具有较高学术水平和影响力的电子杂志，多年来一直致力于推动电子领域的改革与发展，为电子工作者和研究者提供了一个交流和探索的平台，对促进我国电子事业的发展起到了积极的作用。
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