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用于OLED试验的小型真空制备系统设计
东北大学机械工程与自动化学院真空流体工程研究中心; 辽宁沈阳110819
- oled器件
- 真空蒸发镀膜
- 手套箱
- oled封装
摘要：基于国内外OLED制备系统的特点,设计了OLED研究专用小型真空试验系统。布局将掩模室、蒸镀室、过渡室和手套箱线性排列,可实现不同膜层结构OLED器件的有机薄膜和电极的原位沉积,提供了封装所需超低水氧含量的清洁环境。对系统结构、核心部件及抽气系统做了分析计算及论述。
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