摘要：集成电路(integrated circuit,IC)装备作为集成电路产业发展的关键基础,己成为高技术装备产业的典型代表。一个国家集成电路装备制造业水平的高低,决定了整个集成电路产业的发展水平。本文结合全球集成电路装备产业链条,解析全球及我国集成电路装备的技术体系及竞争态势。分析发现,我国集成电路装备发展快速,但短板仍很明显,应进一步夯实基础,加快提升创新步伐。